반도체·디스플레이 장비 — 오디아이 주식회사

Product Lineup

주요 장비 라인업

고객사 사양에 최적화된 반도체·디스플레이 공정 장비

Wafer Handling

SEMICS의 OPERA 장비군을 위한 Loader 양산. 웨이퍼 이송 및 로딩 공정의 핵심 모듈.

고객사: SEMICS | 분류: Wafer Handling

Wafer Handling

하이비젼의 ST/STP Loader 양산. Wafer 이송 시스템 전용 구조.

고객사: 하이비젼 | 분류: Wafer Handling

Alignment

웨이퍼의 정확한 위치 정렬을 위한 Pre Aligner 장비 양산. 반도체 공정 정밀도를 보장.

고객사: SEMICS | 분류: Alignment

Inspection / Test

JEUS의 웨이퍼 검사 장비 양산. 표면 결함, 패턴 오류 등 정밀 검사 지원.

고객사: JEUS, 하이비젼 | 분류: Inspection

Utility

SEMICS PCW Chiller 양산. 반도체 공정 장비의 냉각수 공급 및 온도 안정화 시스템.

고객사: SEMICS | 분류: Utility

Wet Process

JEUS의 Wet Etching 및 세정 장비 양산. 반도체 공정 전 단계의 세정·식각 솔루션.

고객사: JEUS | 분류: Wet Process